长期以来我国对大型真空设备使用在一定真空度的条件下(1~10-2Pa)广泛使用滑阀真空泵、罗茨-滑阀真空机组,
中环真空泵厂据不完全统计,浙江一省以生产滑阀真空泵、罗茨-滑阀真空机组的产值超过4个亿人民币。但是由于没有大抽速的双级滑阀真空泵,在许多罗茨-滑阀机组配置上需要设计成罗茨-罗茨-滑阀机组,或者用一个双级滑阀泵可以达到使用目的的需要采用滑阀-罗茨来代替才能满足真空度的要求。例如需要极限真空为10-2Pa、抽速为150L/s时,必须设计成主泵为ZJ-150的罗茨泵,前级泵可以选用2H-30的滑阀泵。但是在使用上有时希望在较高压强时也具有大抽速,显然用2H-30泵作为前级泵不能满足这个要求,因此只好配2H-70泵作为前级泵,但是有些用户还是不能满足较高压强下大抽速的要求,于是出现主泵是ZJ-150,用户要求前级泵配用H-150滑阀真空泵使用的怪现象。同时,我们分析罗茨泵的结构特点可以明显看出,所谓罗茨泵的抽速完全受到前级泵的抽速的影响,罗茨泵的极限压力主要决定于前级泵的极限压力,前级泵的极限压力低,罗茨泵才能获得较低的极限压力。由于过去没有大抽速的双级
滑阀真空泵,所以不少时候只能用增加罗茨泵为基础设计成罗茨-罗茨-滑阀机组来满足和提高真空度的要求,这无疑使结构增加了复杂性。因此在总结罗茨机组的应用时,权威性资料提出对入口压力非常低(PA<10-2hPa)和前级泵气镇阀工作时,通常使用双级前级泵,否则罗茨泵所需的压力很难达到,而且,在这种压力下前级泵的抽速变得太低了,将导致压缩比太高,容积效率降低了。现在罗茨真空泵已经发展有5000L/s、10000L/s和20000L/s,在很多情况下既需要大的抽速又需要较低的极限压力,显然单级滑阀真空泵就无法满足这一要求,发展大抽速的双级滑阀真空泵与之相匹配,必然可以简化结构,达到节能,控制可靠的结果。
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